沈荣津说，未来台积电一纳米厂设在龙潭，北起桃园龙潭，经过新竹、台中、台南、高雄，这样整个半导体聚落就可以完整串联起来，让台湾西部拥有一个完整个半导体科技廊带，他预估未来台积电一纳米厂也能为龙潭当地带来上万个年薪百万（新台币，下同，约4万4200新元）的工程师就业机会。
此外，沈荣津也说，台积电建厂增加的不仅是工作机会，以台南科学园区的三纳米厂实例来看，台南善化原是个乡下地方，台积电进驻后，当地的“莲潭里”一举成为台南最富有的里，居民平均年所得达168万元，每月人口成长超过1%，人口比例由青壮年最多，是全台南最年轻、生育率最高的里，由此可以预估，若一纳米厂进驻龙潭势必也将为该地区带来繁荣的经济发展。
沈荣津说，目前台湾半导体先进制程技术是三纳米，如果要往一纳米前进，就更需要加快速度推进，超前部署让世界继续需要台湾技术，一纳米的研发制程不仅是半导体的重要关键技术，也是台湾半导体产业要在国际关键地位站稳脚步的“武器”之一，因此必须要超前部署，这点早在一年多前，地方政府就已经着手努力，积极地与中央沟通，促成龙潭科学园区三期计划的加速推动。
沈荣津强调，“中央政策，地方配合”这样的作法是最能够推动产业发展最佳的不变真理，这也是自己50年来观察各项重大投资案后，所得到的关键因素。
台湾行政院日前宣布启动龙潭科学园三期计划，业界流传消息称，台积电将到龙潭设立一纳米晶圆厂。沈荣津星期一（11月21日）接受《经济日报》采访时称，目前台积电在全台湾北中南都有设厂，但新竹才是台积电的研发中心大本营，而桃园龙潭科学园靠近台积电的研发中心，因此台积电要开发一纳米先进制程，桃园龙潭科学园区会是最好的选择。
台湾行政院副院长沈荣津证实，台积电一纳米晶圆新厂将落脚桃园龙潭，这将为桃园带来上万个就业机会，进而推动桃园的经济发展。
台湾经济部日前已表态，若厂商有意在台湾投资最先进制程，政府必定会支持，也会就水、电、土地与其他部会合作，做好后续准备。
